ОКОФ:
Год выпуска: 2008
Количество: 0
Основные характеристики приборов: Разрешаемые размеры рельефа ~ 0,1 мкм (ХУ) и ~ 10 нм (Z)
Технические характеристики
Предназначен для исследования объектов в видимой области спектра. Прибор позволяет регистрировать и анализировать трехмерную структуру поверхности, а также проводить измерение шероховатости.
