Термическая обработка - это технологические процессы, которые связаны с нагревом или охлаждением металла. Термическое оборудование применяют для сушки и вжигания пасты при изготовлении толстопленочных ИМС. Для сушки используют различные сушильные камеры, печи, нагревателями которых обязательно должны быть инфракрасные лампы. Лучшие характеристики получают при сушке в конвейерных печах. Термическое оборудование проектируется в соответствии с требованиями технологического процесса с учетом допускаемых температур на наружных поверхностях оборудования и тепловых потоков от термического оборудования в окружающую среду. К термическому оборудованию относятся: печи, ванны, моечные и промывочное машины, закалочные баки, установки пламенной закалки.
Электротермическая обработка представляет собой процесс преобразования электрической энергии в тепловую и воздействие этой энергией на металл.  Электротермическое оборудование предназначено для технологического процесса тепловой обработки. В качестве основного энергоносителя используется электроэнергия. В электротехнологических процессах используются свойства самих обрабатываемых веществ и материалов: электропроводность, магнитная проницаемость, диэлектрическая проницаемость, теплопроводность, теплоемкость, скрытая теплота плавления или парообразование, теплосодержание, энтальпия. К такому оборудованию можно отнести: электрические печи, электротермические устройства и агрегаты.
Химико-термическая обработка представляет собой процесс нагрева и выдержки металла при высокой температуре в химически активной среде. Химико-термическую обработку проводят для обогащения верхних слоев изделия определенными элементами. В зависимости от насыщающего элемента различают следующие процессы химико-термической обработки:
- однокомпонентные: цементация - насыщение углеродом; азотирование - насыщение азотом; алитирование - насыщение алюминием; хромирование - насыщение хромом; борирование - насыщение бором; силицирование - насыщение кремнием;
- многокомпонентные: нитроцементация (цианирование, карбонитрация) - насыщение азотом и углеродом; боро- и хромоалитирование - насыщение, бором или хромом и алюминием, соответственно; хромосилицирование – насыщение хромом и кремнием и т.д.